DM系列镀膜机用来蒸镀光学镜片的反射膜、透射膜及各种滤光膜和镀制无线电半导体所需的各种电学膜和轻工业品的装饰性薄膜。
DM系列真空镀膜机
描述
应用范围：
DM系列镀膜机用来蒸镀光学镜片的反射膜、透射膜及各种滤光膜和镀制无线电半导体所需的各种电学膜和轻工业品的装饰性薄膜。
技术特点：
镀膜室的钟罩用不锈钢制成，底板采用碳钢表面镀铬制成，便于清洗；配用大抽速真空系统，真空度高，抽气时间短；工件架可旋转，保证膜层均匀；结构可靠，适应性强，操作方便，并有安全互锁；备有连接口，根据需要可以附加光学测厚仪等其它附件。
主要技术性能参数:
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项 目
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单位
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DM-300B
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DM-450A
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DM-450C
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DM-700C
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镀膜室(内径×高)
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mm
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φ300×450
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φ450×540
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φ450×540
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φ700×780
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可镀工件直径
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mm
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φ180
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φ320
|
φ320
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φ610
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极 限 压 力
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pa
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5×10-4
|
5×10-4
|
5×10-4
|
5×10-4
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恢复真空抽气时间(从大气抽至2×10-3 pa
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min
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≤30
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≤30
|
≤30
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≤30
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蒸
发
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电 极 形 式
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—
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电阻式
|
电阻式
|
电阻式
水冷电极
|
电阻式
水冷电极
|
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电 极 对 数
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—
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4
|
4
|
4
|
4
|
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名 义 功 率
|
kW
|
1.5
|
1.5
|
2.5
|
2.5
|
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|
电 压
|
V
|
6. 12. 24
|
6. 12. 24
|
5. 10. 20
|
5. 10. 20
|
|
|
电 流
|
A
|
240. 120. 60
|
240. 120. 60
|
500. 250. 125
|
500. 250. 125
|
|
|
离子轰击
|
最 大 功 率
|
kW
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
0.6
|
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轰击电流(直流)
|
mA
|
~180
|
~180
|
~180
|
~180
|
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工件烘烤
|
最 大 功 率
|
kW
|
0.5
|
1
|
1
|
4.5
|
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允许烘烤温度
|
0C
|
~200
|
~200
|
~200
|
~300
|
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工 件 旋 转
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r/min
|
10~30(无级调速)
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5~25(变频调速)
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5~26(变频调速)
|
10~30(无级调速)
|
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总 功 率
|
kW
|
5
|
6.5
|
8
|
15
|
|
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外形(长×宽×高)
|
mm
|
1160×960×
1540
|
1460×1080×1790
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1460×1080×1790
(可选配光测)
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1760×1240×2280
(可选配光测)
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