ZZSX系列镀膜机

应用范围:

主要用于多层膜的镀制,可制作各种滤光膜、反射膜、透射膜。

技术特点:

根据需要可以增加或提高配置,如真空系统选用分子泵、低温泵;真空室配低温捕集器;膜厚控制采用石英晶体膜厚控制仪;辅助镀膜采用离子源、RF射频轰击等。

描述

应用范围:

主要用于多层膜的镀制,可制作各种滤光膜、反射膜、透射膜。

技术特点:

根据需要可以增加或提高配置,如真空系统选用分子泵、低温泵;真空室配低温捕集器;膜厚控制采用石英晶体膜厚控制仪;辅助镀膜采用离子源、RF射频轰击等。

主要技术参数:

型号  参数 ZZSX-500 ZZSX-700 ZZSX-800 ZZSX-1100 ZZSX-1200 ZZSX-1350
结构形式 箱式前开门后置抽气系统
真空室尺寸  宽×深×高/mm 500×500×680 700×700×860 800×800×1000 1100×1100×1200 Φ1200×1200 Φ1350×1240
极限压力/Pa ≤5×10-4Pa
抽气时间/min 从1×105Pa抽至2×10-3Pa≤20
蒸发源 e型270磁偏转电子枪 加速电压/KV 6,10两档可切换
数量/套 1 1(根据用户需要可安装2套)
功率/kv 6 10
坩埚容积/ml及穴数 20×4(或110环形坩埚) 22×4(或120环形坩埚)
电阻加热式 电压/v 5,10
功率/kw 2.5 5
水冷电极/对数 2/交替蒸发
工件架类型及尺寸/mm 整体拱形夹具Φ460 4片拱形夹具Φ650 4片拱形夹具Φ740;行星夹具Φ450×3任选一种 4片拱形夹具Φ1000;行星夹具Φ770×3任选一种 4片拱形夹具Φ1100 4片拱形夹具Φ1240
工件烘烤 功率/kw 4.5 4.5 9 13.5
温度/℃ 350
直流离子轰击 最高电压/v 3400
额定功率/kw 1 1.5
真空系统配置 K-400油扩散泵系统 KT-500油扩散泵系统 K-600油扩散泵系统 KT-600油扩散泵系统 K-800油扩散泵系统 双套K-600油扩散泵系统
光学镀膜控制 光纤光路,透,反射控制,波长380nm-760nm(可扩展至380nm-1100nm)
水冷 水压/Pa ~2.5×105Pa
水温/℃ <25
压缩空气/Pa (5-8)×105Pa
总功率/kw 22 25 35 46 54 56
占地面积/mm长×深×高 2600×2500×1900 2800×2700×2100 3200×3200×2400 3500×3600×2600 4000×3600×2600 4200×4000×2800

联系信息

北京市大兴工业开发区高米店 盛坊路仪器仪表基地

电话: 010-60250520、010-60250572

传真: 010-60250572