ZZW系列卧式双开门蒸发镀膜机

///ZZW系列卧式双开门蒸发镀膜机

ZZW系列卧式双开门蒸发镀膜机

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描述

主要技术参数:

镀膜室尺寸:(长×直径)2250mm(不含门)×Φ1400mm

极限压力:≤5×10-4Pa

抽气及充气过程中主副室压差:≤100Pa

真空系统:a)KT-600凸腔扩散泵(氟利昂冷阱);

b)RTO,300S罗茨泵;

c)2X-70A真空泵;

d)TRP-48真空泵。

轰击:射频轰击,功率1kW  两组

蒸发源:水冷式电阻热蒸发,功率5kW,12组同时蒸发

工件架:平面夹具,两套

总功率:~100kW 三相四线制 380VAC  50Hz

联系信息

北京市大兴工业开发区高米店 盛坊路仪器仪表基地

电话: 010-60250520、010-60250572

传真: 010-60250572